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六氟乙烷又稱全氟乙烷，是乙烷中六大氫分子全數被氟分子取代后的食品，是鹵代烴（普通機械式：C2F6），終歸是烴類化學物質乙烷所相應的的全氟化學物質，就是種不可燃的的氣體，難易溶水，微易溶醇。

六氟乙烷需主要用做另一種具多效果的蝕刻技藝，珍貴于半導體材料之產于。它需主要用做彩石硅化物及彩石空氣氮化合物并千萬其彩石基本材料的選用性蝕刻。叧外，它亦主要用做蝕刻硅上的二空氣防氧化硅。六氟乙烷可連著三氟甲烷氣體開始主要用做安真小編劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。

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